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    密度 为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。

    靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。

    靶材密度越高，薄膜的性能越好。

    此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。

    密度也是靶材的关键性能指标之一。

    晶粒尺寸及晶粒尺寸分布 通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。

    对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

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